實(shí)驗(yàn)室PECVD化學(xué)氣相沉積設(shè)備# #高校實(shí)驗(yàn)室等離子模塊
等離子體是由陽(yáng)離子、中性粒子、自由電子等多種不同性質(zhì)的粒子所組成的電中性物質(zhì),其中陰離子(自由電子)和陽(yáng)離子分別的電荷量相等,這就是物理學(xué)上所謂“等離子”。等離子體內(nèi)移動(dòng)中的粒子會(huì)產(chǎn)生電磁場(chǎng),并影響著該物質(zhì)內(nèi)每顆帶電粒子的運(yùn)動(dòng),這使等離子體擁有一些特殊的性質(zhì),而這些性質(zhì)也定義了何謂等離子體。
PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡(jiǎn)單,與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長(zhǎng)溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。 |