SS-T系列中頻交流磁控濺射電源技術(shù)規(guī)格
SS-T系列中頻磁控濺射電源工作于二級高頻變換模式，交流正弦輸出。電源輸出頻率設(shè)為典型的40KHZ。中頻濺射電源以兩個濺射靶作為負(fù)載，兩個靶交替工作，因此濺射靶一個濺射周期內(nèi)一半以上的時間為反向電壓截止濺射，使靶材表面積累電荷有的到充分泄放時，有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒，特別適用于反應(yīng)膜層環(huán)境使用。
電源功率范圍 10-120KW
輸入電源 AC380V三相四線制50-60HZ±10％
輸出方式 交流正弦波
輸出頻率 40KHz
輸出電壓 空載1000V[有效值]
滅弧時間 ≤3uS
輸出電流穩(wěn)定率 0.25％
冷卻方式 2-10KW風(fēng)冷 10-120KW水冷
使用環(huán)境 環(huán)境溫度 0-40℃
環(huán)境濕度 相對濕度≤85％
空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風(fēng)良好
冷卻水 清潔 不含礦物質(zhì)及其他可溶性物質(zhì)
水溫 20-30℃
壓力 0.15±0.05Mpa
說明：電源的輸出特性可根據(jù)使用需要作相應(yīng)調(diào)整 |
|
手機站
您當(dāng)前位置是：商業(yè)機會 >> 電工電氣 >> 電源 >> 供應(yīng)SS-T系列中頻交流磁控濺射電源
聯(lián)系信息
