通過將熔化技術(shù)，燒結(jié)技術(shù)，合成技術(shù)以及加工技術(shù)進(jìn)行技術(shù)融合，可以對各種素材，純度以及形狀的產(chǎn)品進(jìn)行處理。
金屬靶材
無機(jī)化合物靶材
復(fù)合靶材
標(biāo)準(zhǔn)尺寸一覽
圓球形 直徑 φ50.8、φ76.2、φ101.6、φ127、φ152.4、φ203.2、 φ254、φ304.8、φ355.6、φ406.4、φ508、φ533.4
矩形 平面尺寸 127×304.8、127×381、127×508、127×558.8、152.4×508
厚度 ｔ3、ｔ5、ｔ6.35
高純度材料
我們秉持著「高純度材料是技術(shù)革新的源泉」的信念，對各種高純度材料進(jìn)行開發(fā)及生產(chǎn)。
Al ～6N Mn ～4N
Co ～4N5 Sn ～5N
Cu ～6N Ti ～5N
In ～5N Zn ～5N
Mg ～4N5 其他各種合金（Co-Fe-B等）
高純度Mg
我們秉持著「高純度材料是技術(shù)革新的源泉」的信念，對各種高純度材料進(jìn)行開發(fā)及生產(chǎn)。我們確立了Mg的高純度化技術(shù)，并使用其對濺射靶材進(jìn)行生產(chǎn)及供應(yīng)。
高純度Mn
Mn是一種脆性材料，在靶材的加工上非常困難。我們通過*合適的生產(chǎn)條件，實現(xiàn)了高純度Mn靶材的生產(chǎn)。
Mn合金
我們通過燒結(jié)，熔化工序?qū)τ型蔀橐环N新的磁性層材料的Mn合金靶材進(jìn)行生產(chǎn)。大多數(shù)Mn合金是易碎的，因此通常是通過燒結(jié)工序進(jìn)行生產(chǎn)。此外，由于可作為磁性層進(jìn)行使用，我們收到了許多關(guān)于低氧含量產(chǎn)品和靶材大型化的要求。
為了滿足這些要求，以供應(yīng)各種熔融制靶材為目標(biāo)，我們不斷地進(jìn)行各種挑戰(zhàn)。
Mn合金：MnxGa100-x (55≦x≦75)
Mn合金作為一種不含稀有金屬以及稀土的磁性材料，近年來引起了人們的廣泛關(guān)注，我們可以對大型的熔制靶材進(jìn)行供應(yīng)。
Co合金
Co合金是用于各種磁性器件的材料。以Co-Fe-B靶材為首，我們擁有生產(chǎn)各種組成的Co合金靶材的實績。
例如：Co-Fe, Co-Fe-α, Co-Ni, Co-Zr-Nb, Co-Zr-Nb-Ta等
MgO靶材
MgO是下一代HDD介質(zhì)的模板層，TMR磁頭以及磁性存儲器（如MRAM）中不可缺少的功能性材料。
早在2002年，我們就開始開發(fā)和生產(chǎn)適合TMR元件的濺射靶，并一直提供具有“高純度”、“高密度”和“低顆粒”特征的MgO靶材。
MgO靶材・鏡面研磨品
融制低氧化Ir-Mn靶材
Ir-Mn*大的特點在于它的非揮發(fā)性以及可進(jìn)行無限的重寫, 是一種被用作為反鐵磁層的非易失性磁性存儲器(MRAM)。我們確立了熔融制靶材的生產(chǎn)方法并對其實現(xiàn)了低氧化。
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