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銳峰先科技術(shù)有限公司
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| TESCAN 聚焦離子束掃描電鏡 |
TESCAN 聚焦離子束掃描電鏡 聚焦離子束掃描電子顯微鏡
雙束聚焦掃描電鏡FIB-SEM
FIB-SEM
雙束電鏡（FIB-SEM）是一款集成了電子束和離子束的電子顯微鏡系統(tǒng)。SEM 鏡筒提供高分辨成像能力，F(xiàn)IB 鏡筒能在成像的同時對樣品進(jìn)行加工處理。雙束電鏡系統(tǒng)開創(chuàng)了一種全新的應(yīng)用方式。
雙束電鏡系統(tǒng)的配置使得電子束和離子束的聚焦點重合，這在很多應(yīng)用中可以獲得*優(yōu)化的結(jié)果。這一特點也使得儀器在完成 FIB 銑削任務(wù)的同時，可以進(jìn)行 SEM 實時成像----這對于精度要求極高的 FIB 操作有很大幫助，使得操作性能和工作效率實現(xiàn)重大飛躍。
TESCAN 提供兩種不同的 FIB 離子源：鎵離子和氙等離子體。Ga 離子源 FIB 適用于所有在制造和納米加工中需要極高精度的應(yīng)用。另一方面，Xe 等離子體 FIB 具有超高離子束流，能夠以高于 Ga-FIB 50倍的效率去除大量材料。在精度方面，我們的高分辨率 Xe 等離子 FIB 可以實現(xiàn)< 15 nm的分辨率，適用于同時要求高效率和高精度的精細(xì)加工任務(wù)。
主要型號：
TESCAN AMBER
TESCAN SOLARIS
TESCAN AMBER X
TESCAN SOLARIS X
我們提供多種配置的 FIB-SEM 系統(tǒng)，能夠滿足從常規(guī)工業(yè)應(yīng)用到先進(jìn)和具有挑戰(zhàn)性的工藝應(yīng)用，這些應(yīng)用要求在成像和微/納米機械的復(fù)雜工作流程方面達(dá)到很高的標(biāo)準(zhǔn)。 |
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