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青島晨立電子有限公司
| 聯(lián)系人：姜先生
先生 (銷售經(jīng)理) |
| 電 話：0532-88533525 |
手 機(jī)：13954285618  |
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| 科研設(shè)備 科研儀器設(shè)備 科研專用加熱設(shè)備 晨立專業(yè)設(shè)計(jì)定制 |
設(shè)備用途：實(shí)驗(yàn)爐是半導(dǎo)體加工中的典型熱處理設(shè)備，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)中進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。
主要技術(shù)參數(shù)：
◆工藝管數(shù)量：1-4管
◆工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆工作溫度范圍：400～1280℃
◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度±0.5℃/1080mm
◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆）
◆結(jié)構(gòu)型式：臥式熱壁型
◆氣體流量設(shè)定精度:±1％F.S
◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s
◆超凈工作臺(tái)：凈化等級(jí)：100級(jí)（萬級(jí)廠房）噪音：≤62dB（A）震動(dòng)：≤3μm
◆記錄工藝曲線數(shù)量及工藝步數(shù)不受限制
◆控制方式： 工業(yè)微機(jī)控制 |
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