Granville-Phillips模塊化真空計(jì)是那些不需要前面板顯示和控制的應(yīng)用的理想解決方案。這些緊湊、方便、可靠、節(jié)約成本的模塊是將控制電子器件直接安裝在規(guī)管上實(shí)現(xiàn)的。全金屬包覆提供了堅(jiān)固的外殼和高水平的抗電氣噪音能力。
Granville-Phillips的Mini-Convectron模塊提供從大氣壓到1×10-4Torr(1×10-4mbar,1×10-2Pa)跨越七個(gè)數(shù)量級(jí)的真空壓力測(cè)量,有模擬量輸出型、RS-485輸出接口型及DeviceNet輸出接口型可選,基本型帶有可調(diào)的設(shè)定點(diǎn)繼電器允許你控制真空工藝的其他功能或是實(shí)現(xiàn)安全互鎖數(shù)顯型帶有明亮的三位數(shù)字顯示可以實(shí)時(shí)顯示現(xiàn)場(chǎng)壓力測(cè)試值。帶有方便的線性模擬量輸出信號(hào)的版本也是可選的。
DeviceNet接口是一種網(wǎng)絡(luò)解決方案,可以縮短真空制程布線、安裝和自動(dòng)化所耗費(fèi)的時(shí)間,降低成本。作為一個(gè)開放式網(wǎng)絡(luò)標(biāo)準(zhǔn),DeviceNet為當(dāng)今先進(jìn)的真空系統(tǒng)上所使用的各種測(cè)量和控制裝置提供了一種方便的連接方式。在某些行業(yè)(如半導(dǎo)體制造)中,DeviceNet接口為*選的網(wǎng)絡(luò)標(biāo)準(zhǔn)。
Convectron真空規(guī)管技術(shù)
隨著20多年成功地現(xiàn)場(chǎng)安裝,Granville-Phillips的Convectron規(guī)管已經(jīng)成為工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。它是具有獨(dú)特變化的熱傳導(dǎo)規(guī)管,其壓力測(cè)量基于傳感絲的熱損失率。與傳統(tǒng)的熱偶規(guī)和皮拉尼規(guī)不同,Convection規(guī)管利用了高壓下對(duì)流冷卻的熱損失技術(shù),這就使得精確、可重復(fù)的真空測(cè)量范圍可延伸到大氣壓。為確保高精準(zhǔn)度以及規(guī)管與規(guī)管的可重復(fù)性,毎個(gè)Convectron規(guī)管出廠前都是獨(dú)立校準(zhǔn)的。
現(xiàn)今,遍布全球的成千上百的真空工藝中使用Convectron真空規(guī)管,這使得它成為許多真空應(yīng)用的明智之選。 |