FiberCouple 130平臺
1同一條導(dǎo)軌上兩個運(yùn)動平臺
2獨(dú)立或并列運(yùn)動
32.5nm分辨率
4非接觸直線電機(jī)驅(qū)動
5交鑰匙的配套驅(qū)動和控制系統(tǒng)
6適合輔助軸
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VascuLathe ACS/ASR
1.直線平臺與旋轉(zhuǎn)平臺的高度集成化
2.ER筒夾系統(tǒng)使材料箝位自動化
3.可選夾緊裝置夾緊管
4先進(jìn)的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
5.單或雙主軸結(jié)構(gòu)
6.可選擇濕切割
7.擁有兩項專利PatentNo.7,038,334PatentNo.7,105,956
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LaserTurn
1.直線平臺與旋轉(zhuǎn)平臺的高度集成化
2.氣動3爪卡盤或ER筒夾
3.較大的通孔可以使產(chǎn)品通過
4.可選擇在前后加工的平臺
5.直接驅(qū)動直線和旋轉(zhuǎn)電機(jī)技術(shù)
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PlanarHD氣浮平臺
1*大2m/s掃描速度和5g加速度的輸出
2*快的轉(zhuǎn)向和*小的穩(wěn)定時間
3主動偏轉(zhuǎn)控制
4直線光柵或激光干涉儀反饋
5行程1.2mx1.2m
行程≤1200mm
精度±300nm
重復(fù)定位精度±50nm
分辨率0.25nm
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APT 系列平轉(zhuǎn)和傾斜組合轉(zhuǎn)臺
1滿足安全，國防建設(shè)和監(jiān)測全球市場的需要
2把先進(jìn)的高精密機(jī)械與業(yè)界領(lǐng)先的控制技術(shù)結(jié)合在一起
3慣性穩(wěn)定
4包含內(nèi)置滑環(huán)，可連續(xù)旋轉(zhuǎn)360°
5高定位精度和速度性能
6易于安裝和系統(tǒng)集成的集成電路
7低維護(hù)，高可靠性提供*低的擁有成本
平轉(zhuǎn)：*高速度180°/秒，持續(xù)360°
傾斜：*高速度180°/秒，范圍為±95°
位置分辨率：7.6弧秒
定位精度：120弧秒
有效載荷：35公斤
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