所有R5/RA系列真空泵具有下列之共同特性:
1.   設(shè)計(jì)精密.結(jié)構(gòu)堅(jiān)固.重量輕.易于安裝及維護(hù).
2.   空氣冷卻(氣冷式).
3.   值結(jié)式驅(qū)動,可避免轉(zhuǎn)動皮帶及齒輪之松弛或損耗.
4.   含高效率油霧過濾器,不須將氣體排出室外.
5.   進(jìn)氣口有逆止閥,當(dāng)泵浦停止時(shí),此逆止閥可隔離泵浦于系統(tǒng),避免真空油逆流.
6.   低震動,不需用基礎(chǔ)螺拴固定泵浦.
7.   運(yùn)轉(zhuǎn)聲音小.
8.   具氣體壓載閥,可適用于蒸氣之制程.
9.   即在真空度0.5mbar到40mbar之間進(jìn)入泵浦入口之水蒸氣,會從泵浦出氣口完全排出,而不會在泵浦內(nèi)發(fā)生凝結(jié)現(xiàn)象.
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