葉轉(zhuǎn)換紅外線光譜分析儀(FTIR)檢測
FTIR提供關(guān)于化學(xué)鍵和分子結(jié)構(gòu)的詳細(xì)信息,使它有益于有機(jī)材料和某些無機(jī)材料的分析;瘜W(xué)鍵以特有的頻率振動(dòng),當(dāng)接觸到紅外線輻射時(shí),它們以與振動(dòng)模式相匹配的頻率吸收紅外線。作為頻率的函數(shù)測量輻射吸收得到用于識(shí)別官能團(tuán)和化合物的光譜。
FTIR應(yīng)用:
 污染物分析中識(shí)別有機(jī)化合物的分子結(jié)構(gòu)
 識(shí)別有機(jī)顆粒、粉末、薄膜及液體(材料識(shí)別)
 量化硅中氧和氫以及氮化硅晶圓中的氫 (Si-H vs. N-H)
 污染物分析(析取、除過氣的產(chǎn)品,殘余物)
FRIR分析優(yōu)點(diǎn):
 能識(shí)別有機(jī)官能團(tuán),通常是具體的有機(jī)化合物
 具有識(shí)別化合物的豐富光譜庫
 測試環(huán)境非真空,可測試易揮發(fā)物質(zhì)
 典型的非破壞性
 最小分析面積~15 微米
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FRIR分析局限性:
 有限的表面靈敏度(一般取樣量~0.8 μm )
 最小分析面積~15 微米
 有限的無機(jī)物信息
 一般非定量(需要標(biāo)準(zhǔn)) |
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