1、概述
半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水，純水主要用作清洗用水 以及用來配制各種溶液、漿料。
純水水質(zhì)已經(jīng)成為影響電子元器件產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)成品率以及生產(chǎn)成本的重要因素之一，水質(zhì)的要求也越來越高。集成電路的集成度越高，對水質(zhì)的要求也越高，目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)標準，分別為18MΩ·cm、15 MΩ·cm、10 MΩ·cm、2 MΩ·cm、0.5 MΩ·cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。
2、電子工業(yè)用超純水的制備工藝流程
電子工業(yè)用超純水設備采用制備的工藝流程有下列幾種：
（1）原水－多介質(zhì)過濾器－活性炭過濾器－軟水器－精密過濾器－陽床－陰床－混合床－純水箱－純水泵－后置精密過濾器－用水點
（2）原水－多介質(zhì)過濾器－活性炭過濾器――軟水器－原水箱－一級反滲透－中間水箱－二級反滲透－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－后置精密過濾器－用水點
（3）原水－多介質(zhì)過濾器－活性炭過濾器－軟水器－原水箱－反滲透設備－中間水箱－EDI裝置－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器－后置精密過濾器－用水點
（4）原水－多介質(zhì)過濾器－活性炭過濾器－軟水器－原水箱－反滲透設備－中間水箱－EDI裝置－純水箱－純水泵－精制混床－精密過濾器－用水點 |
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