影像連接功能 全自動(dòng)(XY 自動(dòng)控制+ 自動(dòng)對焦)量測*4
自動(dòng)調(diào)整、自動(dòng)範(fàn)本分析*4
載物臺 XY 載物臺移動(dòng)量 184 × 88 mm(電動(dòng))
Z 載物臺移動(dòng)量 90 mm(電動(dòng))
旋轉(zhuǎn)角 ±180°（試料旋轉(zhuǎn)載物臺）
傾斜角 ±30° 以上
動(dòng)作距離 75 mm
影像擷取元件 1 型400 萬畫素黑白CMOS
投光鏡頭 雙重遠(yuǎn)心鏡頭 ×2
受光鏡頭 雙重遠(yuǎn)心鏡頭
照明系統(tǒng) 觀察用光源 環(huán)形 LED 照明(紅、綠、藍(lán))
量測用光源 白光 LED
影像尺寸 1024×768 畫素、2048×1536 畫素
資料處理部份 KEYENCE 指定專用PC(OS 為 WINOOWs7)*5
額定 電源電壓 100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz
耗電量 150 VA
環(huán)境抗耐性 環(huán)境溫度 +15 至 +30 °C
相對濕度 35 至 80 % RH (無凝結(jié))
重量 28.0 kg
*1 以焦點(diǎn)位置為中心，低倍率端 ±5 mm，高倍率端側(cè) ±0.5 mm 的範(fàn)圍 
*2 量測高度時(shí)的解析度
*3 使用 KEYENCE 規(guī)定的基準(zhǔn)規(guī)，以 KEYENCE 規(guī)定的量測模式進(jìn)行量測時(shí)的數(shù)值(環(huán)境溫度 23 ±1°C)
*4 需要影像連接模組(VR-H2J)
*5 WINOOWs7 Professional 以及 Ultimat |
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