無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎�？刂瓶諝鈶腋∥⒘舛�，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設計之房間。
蘇州友言機電工程有限公司無塵室概述
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無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
無塵室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
如表所示，每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
控管項目
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。
⒉ 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
⒊ 溫度和濕度之控制。
⒋ 壓力之調(diào)節(jié)。
⒌ 有害氣體之排除。
⒍ 結構物與隔間之氣密性。
⒎ 靜電之防制。
⒏ 電磁干擾預防。
⒐ 安全因素之考慮。
⒑ 節(jié)能之考量。
⒒照度的的調(diào)節(jié)
無塵室設備
風淋室
風淋室系列產(chǎn)品是一種通用性較強的局部凈化設備，安裝于潔凈室與非潔凈室之間。當人與貨物要進入潔凈區(qū)時需經(jīng)風淋室吹淋，其吹出的潔凈空氣可去除人與貨物所攜帶的塵埃，能有效的阻斷或減少塵源進入潔凈區(qū)。風淋室/貨淋室的前后兩道門為電子互鎖，又可起到氣閘的作用，阻止未凈化的空氣進入潔凈區(qū)域。
FFU
FFU可模塊化連接使用，使得FFU廣泛應用于無塵室、無塵操作臺、無塵生產(chǎn)線、組裝式無塵室和局部百級等應用場合。FFU設有初、高效兩級過濾網(wǎng)。風機從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45M/S±20%的風速勻速送出。它為不同尺寸大小，不同潔凈度等級的潔凈室、微環(huán)境提供高質量的潔凈空氣。在新建 |
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