功能 氣體動(dòng)態(tài)配氣儀
基本型號(hào) MT系列
配比范圍 按需求定制
配氣不確定度(%) ±1 F.S
控制閥動(dòng)作形式 長(zhǎng)閉式
被稀釋氣體 C02 ,NO,S02,CO,H2S,02,CH4等各種帶酸性,堿性氣體.
配氣通道 二通道,三通道,四通道等,*高可達(dá)十幾種氣體配比
載氣 空氣,氮?dú)猓瑲鍤獾葰怏w
配氣流量 5SCCM-30SLM范圍可選,或更高
線性(%F.S) ±0.5
重復(fù)精度(%F.S) ±0.2
響應(yīng)時(shí)間(sec) ≤1
設(shè)備輸出信號(hào) RS232或RS485
電器接頭 DB15pin DB14pin DB9pin 接頭
工作環(huán)境 5-55(℃)
工作壓差 0.05-0.5MPA
漏率 1X10-7SCCMHe
*大耐壓 3MPA
介質(zhì)接觸材質(zhì) 304 316 316L
密封材料 氟橡膠,硅橡膠,丁晴橡膠,聚四氟乙烯,金屬密封性
接頭尺寸 Swagelok 1/8 , 1/4 ,3/8,或φ3,φ6,φ8 φ10 φ12
電源要求 220V, 2A功能 氣體動(dòng)態(tài)配氣儀
基本型號(hào) MT系列
配比范圍 按需求定制
配氣不確定度(%) ±1 F.S
控制閥動(dòng)作形式 長(zhǎng)閉式
被稀釋氣體 C02 ,NO,S02,CO,H2S,02,CH4等各種帶酸性,堿性氣體.
配氣通道 二通道,三通道,四通道等,*高可達(dá)十幾種氣體配比
載氣 空氣,氮?dú),氬氣等氣體
配氣流量 5SCCM-30SLM范圍可選,或更高
線性(%F.S) ±0.5
重復(fù)精度(%F.S) ±0.2
響應(yīng)時(shí)間(sec) ≤1
設(shè)備輸出信號(hào) RS232或RS485
電器接頭 DB15pin DB14pin DB9pin 接頭
工作環(huán)境 5-55(℃)
工作壓差 0.05-0.5MPA
漏率 1X10-7SCCMHe
*大耐壓 3MPA
介質(zhì)接觸材質(zhì) 304 316 316L
密封材料 氟橡膠,硅橡膠,丁晴橡膠,聚四氟乙烯,金屬密封性
接頭尺寸 Swagelok 1/8 , 1/4 ,3/8,或φ3,φ6,φ8 φ10 φ12
電源要求 220V, 2A功能 氣體動(dòng)態(tài)配氣儀
基本型號(hào) MT系列
配比范圍 按需求定制
配氣不確定度(%) ±1 F.S
控制閥動(dòng)作形式 長(zhǎng)閉式
被稀釋氣體 C02 ,NO,S02,CO,H2S,02,CH4等各種帶酸性,堿性氣體.
配氣通道 二通道,三通道,四通道等,*高可達(dá)十幾種氣體配比
載氣 空氣,氮?dú),氬氣等氣體
配氣流量 5SCCM-30SLM范圍可選,或更高
線性(%F.S) ±0.5
重復(fù)精度(%F.S) ±0.2
響應(yīng)時(shí)間(sec) ≤1
設(shè)備輸出信號(hào) RS232或RS485
電器接頭 DB15pin DB14pin DB9pin 接頭
工作環(huán)境 5-55(℃)
工作壓差 0.05-0.5MPA
漏率 1X10-7SCCMHe
*大耐壓 3MPA
介質(zhì)接觸材質(zhì) 304 316 316L
密封材料 氟橡膠,硅橡膠,丁晴橡膠,聚四氟乙烯,金屬密封性
接頭尺寸 Swagelok 1/8 , 1/4 ,3/8,或φ3,φ6,φ8 φ10 φ12
電源要求 220V, |
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