VF10熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)采用的熱擴(kuò)散技術(shù)的傳感元件包括兩個(gè)帶熱套管保護(hù)的電阻式溫度傳感器（RTD),測(cè)量氣體時(shí)一個(gè)電阻式溫度傳感器（加熱RTD)被加熱，另一個(gè)電阻式溫度傳感器（參比RTD）用于測(cè)量氣體溫度。當(dāng)傳感器置于無(wú)流量的介質(zhì)中時(shí)，由于加熱的作用將在兩只RTD間形成一個(gè)溫度差值（ △ T）。隨著介質(zhì)的流動(dòng)，基于熱傳導(dǎo)原理，介質(zhì)分子將帶走加熱RTD上的部分熱量，而參比RTD的溫度將保持不變。加熱溫度傳感器的功率（△ P)、溫度差值（ △ T）和氣體質(zhì)量流量（Q）存在如下函數(shù)關(guān)系：
△ P/ △ T=K1+K2 f(Q)K3
K1/K2/K3是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的常數(shù)
基于以上函數(shù)關(guān)系，按檢測(cè)變量的不同可分為溫度檢測(cè)法和功率檢測(cè)法。前者是指恒定加熱溫度傳感器的功率（P)提供熱量，測(cè)量隨流量而變化的溫度差值（ △ T），又稱(chēng)恒功率法；后者是指保持加熱元件和被測(cè)流體溫度差（ △ T）恒定，控制和測(cè)量加熱溫度傳感器的功率（△ P),功率消耗隨著流量增加而增大，又稱(chēng)恒溫差法。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用傳熱原理，即流動(dòng)中的流體與熱源之間的熱量交換關(guān)系來(lái)測(cè)量氣體質(zhì)量流量的儀表。 |
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