七星華創(chuàng)流量計(jì)
表1. D07-7B 型MFC性能指標(biāo)
編號(hào) 項(xiàng)     目 D07-7B  型
1 流量規(guī)格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
( 0~1,2,3,5,10)                    SLM
2 準(zhǔn)確度 ±1.5  % F.S
3 線(xiàn)性     ±1  % F.S
4 重復(fù)精度  ±0.2  %F.S
5 響應(yīng)時(shí)間 電特性:      10   sec
  氣特性:  ≤ 4  sec
6 工作壓差范圍 (0.1  ~ 0.5)  MPa
7 耐壓 3  MPa
8 工作環(huán)境溫度 5 ℃ ~ 45 ℃
9 輸入輸出信號(hào) 0  V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
10 電源 +15  V   50 mA
-15V   200 mA
11 外形尺寸 見(jiàn)圖4
12 重量 1.1  kg
 
注意:                                                                       
質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器出廠(chǎng)通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定 |
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流量?jī)x表
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