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實(shí)際測量系統(tǒng)由載物臺(tái)，用于晶圓反饋的視覺系統(tǒng)，以及用于收集實(shí)際測試數(shù)據(jù)的光學(xué)和電子測量提示，該平臺(tái)可以在X，Y和Z方向執(zhí)行納米級--以及在ф的幾分之一度，相機(jī)可以沿Z軸以進(jìn)行自動(dòng)對焦，在測量過程中。
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伺服驅(qū)動(dòng)器接地故障原因
1、電纜接線松動(dòng)或接觸不良：這是導(dǎo)致伺服驅(qū)動(dòng)器接地故障的常見原因之一。電纜的松動(dòng)或接觸不良可能導(dǎo)致電流無法正常流通，進(jìn)而引發(fā)接地故障。
2、地線接觸不良或者斷開：地線的主要作用是將電氣設(shè)備的金屬外殼與大地相連，以防止設(shè)備漏電時(shí)對造成傷害。如果地線接觸不良或斷開，將無法有效實(shí)現(xiàn)這一功能，從而可能導(dǎo)致接地故障。
3、伺服電機(jī)或驅(qū)動(dòng)器本身存在缺陷：這些缺陷可能包括內(nèi)部元件的損壞、設(shè)計(jì)缺陷或制造過程中的問題等。這些缺陷可能導(dǎo)致設(shè)備在運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生異常電流，進(jìn)而引發(fā)接地故障。
4、電磁干擾：伺服驅(qū)動(dòng)器在工作過程中產(chǎn)生的電磁干擾可能對接地系統(tǒng)造成影響，導(dǎo)致接地故障。
5、接地電阻過大：接地電阻過大可能是由于接地極埋設(shè)不當(dāng)、土壤電阻率過高或接地極銹蝕等原因造成的。過大的接地電阻會(huì)影響電氣設(shè)備的正常運(yùn)行，甚至引發(fā)安全事故。
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